プロダクションサポート事業部 プロダクションサポート事業部

機動力重視・グローバル対応
フィールドエンジニアリング

これまで蓄積した保全技術を活かし本社内クリーンルームにおいて、
装置本体、各種ユニット、周辺機器、真空ロボット等オーバーホールを実施。
修理の際、生産終了品や終了予定品は同等品の独自の調達、選定。
大手装置メーカの認定を多数受けており、技術力と経験を活かした高品質なサービスを提供

プロダクションサポート事業

プロダクションサポート事業部は、2007年より半導体市場へのグローバルサポートを展開しております。
具体的には、当社海外現地法人(米国、台湾)との連携による海外サポートの拡充、及び社員の海外赴任・出張等による海外サポート体制の構築も行っております。

また、その基礎となる技術力は、デバイスメーカーおよび製造装置メーカーとのタイアップにより
長年培われた技術と常に最先端技術の修得を行える環境が整っております。
これが当社の強みの一つでもあります。






3D分析サービス

製品内部を非破壊でスキャン。三次元画像や3DCADデータを提供。

CTでは形状に関係なくスキャン可能。
CTスキャナは物体を透過するX線を利用して対象の内部・外部状態を測定するため、被検査体を非破壊 で検査を行なうことが出来ます。

弊社では自社所有のCTスキャナを用いて様々な活用を提案します。

「非破壊検査」 「高精度な形状測定」 内部品質の検査に活用

CTスキャナは物体へ可視光を投射して反射光の計測とは異なり、物体を透過する光を測定するため影や窪みなどの形状、
また金属光沢や透明な対象物でも測定することが出来ます。

解析にて内部の巣穴をリスト化、サイズ分けして着色し可視化するなど、内部検査に役立てることが可能です。

パッケージ未開封のまま内部の異物を検出

製品パッケージを開封せずに、食品や製品原材料に混入した金属片・樹脂片などの異物を短時間で検出する。

「対象物の三次元形状の全取得」 複雑な凹凸でも高い精度で3Dデータ化

CTスキャナは鉄や鉛など重い金属で出来た製品を除いて、複雑な形状・材質を問わず全ての対象物の計測することが可能です。
従来の光学式の3Dスキャンでは、データ化が困難な植物や昆虫などをはじめとする、有機的形状・自由曲面を持つ3Dデータ・3Dモデルの制作に活用することが出来ます。

「高速検査・測定」 広範囲の製品形状を短時間で取得

CT スキャナは、非破壊的に製品内外の全形状を取得するため、短時間で鋳巣を位置や大きさを確認することが出来ます。

弊社 X線CTスキャンの特徴

・【CT=時間が長い】を弊社CTは約1/4で可能
・【単価】=CT画像1枚辺りから1検体・1案件単位
傾向観察案件などは、途中経過報告を徹底致します。

リバースエンジニアリング

実例:リバースエンジニアリング タービンブレードのCAD作成例

対応データ一覧

CADデータやSTLデータを以下の形式にて出力・対応可能です。

点群データ一覧 対応CADデータ一覧
STL_binary CATIA V4,V5
STL_ASCII Pro-E
Off NX-5
VRML97 Space-E
Point cloud ASCII シマトロン





フィールドサポート

半導体製造装置及び付帯設備全般のフィールドサポート(国内・海外対応)

お客様のニーズに合わせた技術者の派遣・業務請負等、様々な形態でのサポートを提案し実行します

グローバルサービス

海外現地子会社(米国・台湾)との連携したサービス
今後も更に海外現地子会社を軸にグローバルサービスを充実してまいります。

▼World Wide 展開MAP

world wide

▼国内拠点MAP

国内拠点MAP



サービス拠点一覧

益城本社

861-2202

熊本県上益城郡益城町田原2081-17
TEL 096-214-5680 FAX 096-214-5681

<アクセス>

熊本空港より:2km / タクシー 5分

JR豊肥線 肥後大津駅より: 8.5km / タクシー 15分

本店・合志工場

861-1116

熊本県合志市福原1-35
TEL 096-349-5080 FAX 096-349-5088

<アクセス>

九州自動車道 熊本 IC より:12km / 車 20分

JR豊肥線 原水駅より:3km / タクシー 7分

熊本空港より: 10km / タクシー 15分

大分サービスセンター(新貝)

870-0911

大分県大分市新貝2-29
TEL 097-556-7755 FAX 097-556-6007

<アクセス>

JR日豊本線 高城駅より:1.7km / タクシー 7分

大分中津サービスセンター

879-0471
大分県宇佐市四日市1137-6

<アクセス>

JR日豊本線 豊前善光寺駅より:4km / タクシー 8分

名古屋サービスセンター

450-0002
愛知県名古屋市中村区名駅5-31-10 リンクス名駅ビル6階
TEL 052-766-6447

<アクセス>

名古屋駅より:650m / 徒歩 8分






オーバーホール

真空ロボットと真空バルブ、真空ポンプの高品質なオーバーホール・修理を提供します。お客様のニーズに応えた作業内容、Data取得が可能です。専門技術を持ったスタッフが作業を行います。
受入検査より、消耗品の劣化を見極め適正な部品交換作業を行います。必要に応じて、洗浄・修理を行い、作業基準を順守しASSEMBLEした後、動作テストを行います。

お客様のメリット

1.コストダウン
低価格でのサービスで、コストメリットをご提供致します。
不具合部品の修復により延命化を図り、新規ご購入費用を削減します。
また、廃棄によるムダの発生を低減します。

2.装置ダウンタイム、作業工数の低減
ユーザー様では弊社O/H完了品と交換するだけとなり、現場で分解・組立を行なう場合に生じる装置のダウンタイムや作業工数の削減が可能となります。

3.品質安定化
弊社内で動作・リーク等の試験を行いますので、装置取り付け後の初期不良や、異物発生等による品質トラブルが低減されます。

オーバーホールご依頼品受入~納品までの流れ

オーバーホールプロセス

作業事例の紹介

1.真空バルブ
VAT社製UHV Gate Valve 12046-PE24
①入荷検査:動作・昇温確認、Heリーク検査(ゲート開閉時)
②分解:洗浄品、消耗部品取外し(Oリング、ベアリング)、劣化状態確認
③部品洗浄
④組立:洗浄済み部品、交換用部品組付け
⑤出荷検査:入荷検査に同じ
⑥脱気二重梱包により出荷
標準納期:受入より約4週間

2.真空ポンプ

ポンププロセス

過剰な部品交換を排除、「部品」を「再生」させる技術を駆使してお客様のコスト低減に貢献いたします。

3.イオンソースヘッド

4.べローズリーク箇所調査・改善
真空バルブに使用されているベローズのリーク箇所特定を行ないます。
専用冶具に対象ベローズを取り付けて内部を加圧状態にし、リーク箇所の特定。
リーク箇所を自社所有のCTスキャン装置で撮影し延命化を図るための改良を行う事ができます。


対応実績品と納入実績

▼対応実績品 Line Up
Supplier Item
VAT社 UHVゲートバルブ ミニUHVゲートバルブ 真空ゲートバルブ 角型インサートMONOVAT
振子式高真空バルブ 角型ドアーL-VAT アングルバルブ他
MSK社 スロットルバルブ他
V-TEX社 ゲートバルブ 振子式真空バルブ
MDC社 アングルバルブ他
SMC社 アングルバルブ他
Nor-Cal社 スロットルバルブ他
COMPACT社 シリンダー各種
▼納入実績
真空ロボット 真空バルブ 真空ポンプ
600台以上
1,000台以上
6,000台以上